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Profilomètre

Descriptif :

Marque : Zygo NewView 7100

Année : 2011

Caractéristiques :

Profilomètre optique 3D (interférométrie)

2 objectifs :

* x 5 (Résolution latérale 2,93 µm, résolution en Z : 0,1 nm) – Zone d’analyse : 1,88 mm x 1,41 mm)

* x 20 (Résolution latérale 0,73 µm, résolution en Z : 0,1 nm) – Zone d’analyse : 0,47 mm x 0,35 mm)

Possibilité de recollement d’image (stitching)

Contact :

Jérôme Chancolon