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Spectroscopie en photoemission ESCA

Descriptif :

Marque : THERMO ELECTRON

Année : 2000
















Caractéristiques :

* Spectroscopies XPS et AES
* Sources RX monochromateur Al (FWHM = 0.45 eV, Ag) ; Source RX twin anode (Mg : 1253 ,6 eV et Al : 1486,6eV) (sans monochromateur ; largeur 0,8 eV, Ag)
* Imagerie X : Résolution latérale 3um
* Canon EX05 pour décapage ionique
* Température de l’échantillon : 100 à 500 K
* Détecteur hémisphérique : résolution ± 0,2 eV
* Résolution latérale : XPS : 20 um à 5 mm ; AES : 1 um
* Vide limite : 10-10 torrs par pompes ionique
* Platine motorisée pilotée par ordinateur
* Imagerie secondaire

Utilisations :

Spectromètre pour l’analyse chimique des surfaces solides (jusqu’à 8nm de profondeur), des liaisons chimiques. Cartographie chimique de surfaces de 8mm de côté jusqu’à 250 um. Profil de concentration. La chambre UHV de ce spectromètre est couplée à une chambre d’élaboration de nanoagrégats.